普雷茨特飞点扫描仪 (FSS) 在光学测量行业是突破性的产品，其可在短时间内以 70 kHz 的测量速度对 ROI 区域进行快速扫描，目前广泛应用于晶圆测厚、手机段差、摄像头镜片厚度/形貌检测等。

近日，普雷茨特更是推出了新一代产品  - 飞点扫描仪（FSS）310，其可在更短的周期内对半导体晶圆进行弯曲度、翘曲度、TTV 和质量检测。针对 12 英寸晶圆，更是能够通过灵活高效的扫描轨迹、纳米范围内的 Z 分辨率等实现一次扫描，最终大幅缩短高端芯片的量产时间。

FSS 310 独特地结合了 OCT 和宽视野扫描，解决了超精密测量系统普遍存在的检测速度慢、价格昂贵的问题。

FSS 310 在视野内具有灵活、快速移动的测量点，可在超短周期内进行 ROI 检测，同时丝毫不影响精确度。本设备在一次扫描中便可测量整个 12 英寸晶圆的总厚度变化 (TTV)、弯曲、翘曲和孔洞。